近期一位客户委托了一项测试来测量薄膜材料的厚度。这种薄膜材料通常是um级(1um=0.001mm)。用普通方法测量比较困难。在这里，利用一套金相显微镜及其配套的软件测量系统，成功地完成了测量任务。

　　[检测原理]用金相显微镜检测断面，用直尺直接测量金属镀层和氧化膜的局部厚度。

　　【参考标准】GB/t6462-2005

　　金相显微镜及金相测量软件

　　金相显微镜测量涂层厚度

　　【检测范围】一般情况下，试样检测厚度大于1um时，以保证测量结果在误差范围内;厚度越大，误差越小。

　　金相显微镜测量涂层厚度

　　[试验方法的优缺点]本试验方法的优点是：涂层适用范围内的试验结果特别准确，误差很小(差分尺校准后的误差可以小于0.01um)，可作为一种有争议的仲裁方法，其缺点是制备涂层厚度样品费时费力。

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